早期的三次元工作台一般是由铸铁，但近年来由于花岗岩变形小、不生锈，且价格低廉，稳定性好、耐磨损、易于加工等优点一般都是用花岗岩来制造三座标测量机的工作台。不同地方的花岗岩平板的颜色也不一样，一般是黑色带白色石英花， 南非有一种顶级的花岗岩是纯黑色，不含石英（就是那些白色的小花），但是那个很贵一般不用来做测量机的工作平台。国内有一种叫做泰山青，这种花岗石悉尼圆润，石英花小。国外的花岗岩石英花一般都很大，不如泰山青。但是由于地质保护的原因，很多采石场都被迫关门了。。。

有些三坐标测量机装还有可升降的工作台，以扩大Z轴的测量范围，还有些测量机备有旋转工作台，以扩大测量功能。

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